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MT2010

카테고리
Defect Inspection
개요

The MT2010 is designed for high precision defect inspection and metrology tasks on masks up to 6”. The system uses different illumination sources in transmitted and reflected light such as visible, I-line (365nm) and DUV (248nm). MT2010 comes with laser autofocus and an anti-vibration isolating base frame with light tower.

활성 등재물

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서비스

검사, 보험, 감정, 물류

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