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Software Version V5.80c CIM E84, SECS/GEM, GEM300, Interface A Process ETC_GatePatterning Main System TACTRUS NCCP 1 OK Handler System Vacuum Transfer Module 1 OK Handler System Loader Module 1 OK Handler System Loadlock Module 1 OK Factory Interface FOUP 5 OK RF Generators 4 OK AC Power Rack 1 OK Pump Rack 1 OK Pumps 4 OK Chillers 4 OKOEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
TEL / TOKYO ELECTRON
TACTRUS NCCP
검증됨
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
106074
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
2010
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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TEL / TOKYO ELECTRON
TACTRUS NCCP
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
106074
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
2010
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Software Version V5.80c CIM E84, SECS/GEM, GEM300, Interface A Process ETC_GatePatterning Main System TACTRUS NCCP 1 OK Handler System Vacuum Transfer Module 1 OK Handler System Loader Module 1 OK Handler System Loadlock Module 1 OK Factory Interface FOUP 5 OK RF Generators 4 OK AC Power Rack 1 OK Pump Rack 1 OK Pumps 4 OK Chillers 4 OKOEM 모델 설명
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