설명
MOCVD환경 설정
- Five 8" wafers - Penta Injector - EpiTT Version 1 - Single filter exhaust CT500 - TMGax2, TMAlx2, Cp2Mg - H2, N2, Nh3,Cl2 (no mixer) that was external of the system - Aixact version 7.1.2.8 - Ebara ESA80 process pump - Two scroll pumps: for the glove box (1) and the Antechamber (1) - Horiba MFC's - Process module 208VAC, RF Generator 480VAC - USA Voltage - No transfer modulesOEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
AIXTRON
AIX G5+
검증됨
카테고리
MOCVD
마지막 검증일: 26일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
96865
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
2013
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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