20K PECVD
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PECVD개요
AKT-20K PECVD(1,300mm x 1,500mm) PECVD systems deposit doped and undopedamorphous silicon, silicon nitride, silicon oxide and oxynitride PECVD systems deposit films on glass substrates more than 70 times larger than 300mm wafers
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검사, 보험, 감정, 물류
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