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55K PECVD

카테고리
PECVD
개요

AKT-55K PECVD(2,200mm x 2,500mm) PECVD systems deposit doped and undopedamorphous silicon, silicon nitride, silicon oxide and oxynitride PECVD systems deposit films on glass substrates more than 70 times larger than 300mm wafers

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검사, 보험, 감정, 물류

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