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The Oxford PLASMALAB 133 ICP 380 is a type of Ion Couple Plasma Etching System that features a 380 ICP Source. This system is designed with a manual load lock and a ceramic clamp style. It comes with an Alcatel Turbo pump and controller, a VAT Gate Valve and PM5 controller, an Endpoint Detector, and an RF power supply with match work and tuner. Additionally, it has eight Mass Flow Controllers.문서
문서 없음
OXFORD
PLASMALAB 133 ICP 380
검증됨
카테고리
PECVD
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
78920
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
2011
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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OXFORD
PLASMALAB 133 ICP 380
카테고리
PECVD
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
78920
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
2011
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The Oxford PLASMALAB 133 ICP 380 is a type of Ion Couple Plasma Etching System that features a 380 ICP Source. This system is designed with a manual load lock and a ceramic clamp style. It comes with an Alcatel Turbo pump and controller, a VAT Gate Valve and PM5 controller, an Endpoint Detector, and an RF power supply with match work and tuner. Additionally, it has eight Mass Flow Controllers.문서
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