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SUMMIT 300XT

카테고리
RTP/RTA
개요

Summit 300XT RTP system contains a number of innovations for a range of 300-mm processing applications, including annealing of ultra-shallow junctions in ICs with 100-nm (0.10-micron) device features.

활성 등재물

0

서비스

검사, 보험, 감정, 물류

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