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Software Version LSA 05.09 Build 05 CIM SECS, GEM Process Laser Spike Anneal Main System Remote Rack 1 OK Main System EFEM 1 OK Main System Chamber 1 OK Factory Interface FOUP 2 OK Heat Exchanger 1 OKOEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
VEECO / ULTRATECH
LSA100A
검증됨
카테고리
RTP/RTA
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
106076
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
2010
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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LSA100A
카테고리
RTP/RTA
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
106076
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
2010
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