RTP-150-HV
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RTP/RTA개요
RTP-150-HV - Rapid Thermal Vacuum Process Oven For wafer size up to 150 mm dia. Ramp up rate up to 75 K/sec SIMATIC® controller with 7“ touch panel Vacuum up to 10-3 hPa Process gas line with Mass Flow Controller for Nitrogen
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검사, 보험, 감정, 물류
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