AR-S300H-300
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Wafer Handling개요
Wafer Atmosphere Robots Type: Single Arm Wafer Size: ~450mm A(B)-axis (mm): 510 θ-axis(°): 330 Z-axis (mm): 300 Transport weight (kg): 3
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검사, 보험, 감정, 물류
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Wafer Atmosphere Robots Type: Single Arm Wafer Size: ~450mm A(B)-axis (mm): 510 θ-axis(°): 330 Z-axis (mm): 300 Transport weight (kg): 3
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