PAS 5500/800
카테고리
248nm DUV개요
The PAS 5500/800 is a deep UV Step & Scan system. The system achieves 120 nm resolution by means of the industry-leading numerical aperture (NA) of 0.80. With throughput of 115 200 mm wafers per hour.
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서비스
검사, 보험, 감정, 물류
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