설명
Backside Usher환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
Plasma Mode: RIE / DP mode changeable Electrode Structure: Parallel flat stage RF Power MAX.: 500W Oscillation Frequency: 13.56MHz Quartz Oscillator Display: LED touch panel Chamber Dimensions: W500 × D300 × H200mm Stage Size: W400 × D200mm Chamber Material: Aluminium Reaction Gas: 2 systems(Ar, O2) Purge Gas: N2 or Dry air Reaction Gas Flow Control: Mass flow controller문서
문서 없음
YAMATO SCIENTIFIC
PDC510
검증됨
카테고리
Ashers / Plasma Cleaner
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
71182
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Ashers / Plasma Cleaner
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Plasma Mode: RIE / DP mode changeable Electrode Structure: Parallel flat stage RF Power MAX.: 500W Oscillation Frequency: 13.56MHz Quartz Oscillator Display: LED touch panel Chamber Dimensions: W500 × D300 × H200mm Stage Size: W400 × D200mm Chamber Material: Aluminium Reaction Gas: 2 systems(Ar, O2) Purge Gas: N2 or Dry air Reaction Gas Flow Control: Mass flow controller문서
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