
설명
The device is disassembled and stored in a warm and dry warehouse. Processable substrates: with Ø 200 mm or 156 mm × 156 mm edge length Maximum thickness: 2 mm Capacity (depending on configuration and layer structure): up to 1200 substrates per hour Cycle time: < 3 seconds Dimensions and weight of the system: Main system dimensions: L × W × H [cm] = 335 × 225 × 155 Main system weight: 3.3 t Media supply: Gases: argon, oxygen, forming gas (Ar:H2 = 95:5), nitrogen High voltage Compressed air Cooling water환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
카테고리
Coaters & Developers
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
134375
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
EVATEC / BALZERS
SOLARIS S151
카테고리
Coaters & Developers
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
134375
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
설명
The device is disassembled and stored in a warm and dry warehouse. Processable substrates: with Ø 200 mm or 156 mm × 156 mm edge length Maximum thickness: 2 mm Capacity (depending on configuration and layer structure): up to 1200 substrates per hour Cycle time: < 3 seconds Dimensions and weight of the system: Main system dimensions: L × W × H [cm] = 335 × 225 × 155 Main system weight: 3.3 t Media supply: Gases: argon, oxygen, forming gas (Ar:H2 = 95:5), nitrogen High voltage Compressed air Cooling water환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음