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TRIASe+ Ti/TiN

카테고리
Deposition
개요

Triase+™ Ti/TiN is a 300mm single-wafer metal CVD system for high step coverage Ti/TiN film formation using TiCl4.

활성 등재물

3

서비스

검사, 보험, 감정, 물류

상위 등재물

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