설명
Configured for 6" Wafers Standard Chuck LAM RESEARCH 13.56 MHz RF Power Source MKS Type 651 Pressure Controller UNIT Model UPC 1300 – HE 50 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 1 slpm TYLAN Model FC-280S – N2 100 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 500 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 500 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 1 slpm TYLAN Model FC-280S – N2 500 sccm Software Version V3.11환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
DRYTEK
384T
검증됨
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
19861
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
DRYTEK
384T
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
19861
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
설명
Configured for 6" Wafers Standard Chuck LAM RESEARCH 13.56 MHz RF Power Source MKS Type 651 Pressure Controller UNIT Model UPC 1300 – HE 50 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 1 slpm TYLAN Model FC-280S – N2 100 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 500 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 500 sccm TYLAN Model FC-280S – N2 1 slpm TYLAN Model FC-280S – N2 500 sccm Software Version V3.11환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음