설명
1. Software abnormal Pending processing ( The machine screen is unresponsive. A bunch of alarm) 2. EC magnetron generator 3. AC magnetron generator 4. EC TMP and TMP controller 5. BR dry pump 6. AC dry pump 7. LC UC Motor 8. chiller 9.EC Dry pump A30W 10.PM parts lackEC WAFER CLAMP 11.PM parts lack EC ELECTRODE COVER 12.PM parts lack EC GROUND ELECTRODE환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
HITACHI
M-308ATE
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 5일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
142660
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
설명
1. Software abnormal Pending processing ( The machine screen is unresponsive. A bunch of alarm) 2. EC magnetron generator 3. AC magnetron generator 4. EC TMP and TMP controller 5. BR dry pump 6. AC dry pump 7. LC UC Motor 8. chiller 9.EC Dry pump A30W 10.PM parts lackEC WAFER CLAMP 11.PM parts lack EC ELECTRODE COVER 12.PM parts lack EC GROUND ELECTRODE환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음