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2300 e4 with 3 Load Port and 4 Kiyo FT chambers Software: 1.8.4-SP9-CE006c-Patch-02-CF-Etch_2018-12-07-141128 • 4 Kiyo FT chambers • 3 Wafer Load port module (TDK) • Transfer Chamber • ATM robot with one end effector (Brooks) • VTM robot with dual end effectors (Brooks Mag7) • 2 wafer slot Airlock Vacuum system • N2/Purge Vent • TM control software • Communication Protocol (RS232, LON)OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
101693
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
알 수 없음
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
유사 등재물
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LAM RESEARCH CORPORATION
2300
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
101693
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
알 수 없음
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
설명
ETCH환경 설정
2300 e4 with 3 Load Port and 4 Kiyo FT chambers Software: 1.8.4-SP9-CE006c-Patch-02-CF-Etch_2018-12-07-141128 • 4 Kiyo FT chambers • 3 Wafer Load port module (TDK) • Transfer Chamber • ATM robot with one end effector (Brooks) • VTM robot with dual end effectors (Brooks Mag7) • 2 wafer slot Airlock Vacuum system • N2/Purge Vent • TM control software • Communication Protocol (RS232, LON)OEM 모델 설명
미제공문서
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