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ICP system complete with: -robotic wafer transfer system -computer controls -thermal transfer module for substrate clamping -closed loop pressure control -RF high freq. inductive coupled plasma source for high density plasma creation -Installed pumps and MFC control unitsOEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
PLASMATHERM
SLR 770
검증됨
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
14081
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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