설명
Details Attached Plasma Etcher Rapier APS ICP PRS Chm Excluded: ESA70W Pump (QTY 1) ESR20N Pumps (QTY 1) Helium MFM for ICP Module Missing (QTY 1)환경 설정
Software Version - 12.5.1 Process - Si/Ox/ Nit Etch Chamber System: - Rapier Module - APS Module - PRS Module - ICP Module Handler System - VCE (QTY 2) RF & Power Rack (QTY 2) VSPOEM 모델 설명
Omega fxP is a cluster system supporting up to 6 plasma etch (ICP, DRIE, and/or Synapse) chambers. The fxP is an 8-sided cluster system supporting up to 6 process modules for the ultimate in throughput, availability and productivity.문서
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 2일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
154392
웨이퍼 사이즈:
8"/200mm
빈티지:
2018
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
유사 등재물
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KLA / SPTS
OMEGA fxP
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 2일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
154392
웨이퍼 사이즈:
8"/200mm
빈티지:
2018
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available