
설명
ICP DRIE System, Includes: 1ea control cabinet w/ PDU, ENI RF generator, MKS Spectrum RF generator; 1ea SMC HRZ001-L-D recirculating chiller; 1ea Ebara SR20N vacuum pump; 1ea Ebara ESR20N-HT vacuum pump; 1ea Ebara vacuum pump환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 11일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
149257
웨이퍼 사이즈:
6"/150mm
빈티지:
알 수 없음
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
STS
VPX PEGASUS
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 11일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
149257
웨이퍼 사이즈:
6"/150mm
빈티지:
알 수 없음
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
설명
ICP DRIE System, Includes: 1ea control cabinet w/ PDU, ENI RF generator, MKS Spectrum RF generator; 1ea SMC HRZ001-L-D recirculating chiller; 1ea Ebara SR20N vacuum pump; 1ea Ebara ESR20N-HT vacuum pump; 1ea Ebara vacuum pump환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
미제공문서
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