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설명
300MM ASME 3000 EPI HEX환경 설정
-Software Version: Standard -CIM: SECS GEM -Process: EPI -Main System Main Tool -Handler System Standard (1) -Factory Interface FOUP (4) -Others Upgrades 2006-2011 Mass Flow Verification Upgrades on CMD1 ASM EPI PRE ALIGNER U/G CMD1 ASM CONTROL UPGRADE ON EPI TOOL ( CMD1) ASM EPI Backpressue U/G (4)OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
카테고리
Epitaxial deposition (EPI)
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
112988
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
2003
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ASM
EPSILON E3000
카테고리
Epitaxial deposition (EPI)
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
112988
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
2003
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
설명
300MM ASME 3000 EPI HEX환경 설정
-Software Version: Standard -CIM: SECS GEM -Process: EPI -Main System Main Tool -Handler System Standard (1) -Factory Interface FOUP (4) -Others Upgrades 2006-2011 Mass Flow Verification Upgrades on CMD1 ASM EPI PRE ALIGNER U/G CMD1 ASM CONTROL UPGRADE ON EPI TOOL ( CMD1) ASM EPI Backpressue U/G (4)OEM 모델 설명
미제공문서
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