설명
• Versatile ICP etcher to anisotropically etch most thin film material(s) • Two 5kW 2.45GHz microwave power supplies coupled to 4 independent wave guides deliver high-density free radicals for a gentle chemical etch. • 13.56 MHz power supply powers the cathode to provides bias for anisotropy • Manual load: (3) 6' wafers onto the carrier. then into UL • L/L & process chamber equipped with roughing pump and turbo • Process gases: BC. Cl2. CF4, SF6, C4Fs, 02. & Ar환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
카테고리
Etch/Asher
마지막 검증일: 30일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
135817
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
MEYER BURGER
AP 800
카테고리
Etch/Asher
마지막 검증일: 30일 이상 전
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조건:
Used
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알 수 없음
제품 ID:
135817
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
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Available
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Available
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Available
설명
• Versatile ICP etcher to anisotropically etch most thin film material(s) • Two 5kW 2.45GHz microwave power supplies coupled to 4 independent wave guides deliver high-density free radicals for a gentle chemical etch. • 13.56 MHz power supply powers the cathode to provides bias for anisotropy • Manual load: (3) 6' wafers onto the carrier. then into UL • L/L & process chamber equipped with roughing pump and turbo • Process gases: BC. Cl2. CF4, SF6, C4Fs, 02. & Ar환경 설정
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