설명
High Energy Implanter 1.2 MeV환경 설정
-Set up for Open 6 inch wafer cassette loading Seiko Seiki Pumps with Edwards rough pumps. CTi Cryos. ELS source - LINAC with resonators - Gas Box - PH3 SDS, BF3, Xe and Ar - StandardOEM 모델 설명
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AXCELIS
NV GSD/HE
카테고리
High Current
마지막 검증일: 4일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
Installed / Down
제품 ID:
148407
웨이퍼 사이즈:
6"/150mm
빈티지:
2000
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
설명
High Energy Implanter 1.2 MeV환경 설정
-Set up for Open 6 inch wafer cassette loading Seiko Seiki Pumps with Edwards rough pumps. CTi Cryos. ELS source - LINAC with resonators - Gas Box - PH3 SDS, BF3, Xe and Ar - StandardOEM 모델 설명
미제공문서
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