
설명
implanter환경 설정
Equipment size: * Main body approx. 8300 x 3300 (plus 650 mm when the door opens) * Exterior devices approx. 2950 x 850 (plus 1400 mm when the door opens) Configuration: * ESC temperature confirmation (A series high temperature and B series normal temperature) A: 500℃ B: 24℃ * Energy range: Monovalent → 350keV, Divalent → 700keV Compatible with double/triple chargeOEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
카테고리
Ion Implantation
마지막 검증일: 11일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
139224
웨이퍼 사이즈:
4"/100mm
빈티지:
2010
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ULVAC
IH-860DSIC
카테고리
Ion Implantation
마지막 검증일: 11일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
139224
웨이퍼 사이즈:
4"/100mm
빈티지:
2010
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
설명
implanter환경 설정
Equipment size: * Main body approx. 8300 x 3300 (plus 650 mm when the door opens) * Exterior devices approx. 2950 x 850 (plus 1400 mm when the door opens) Configuration: * ESC temperature confirmation (A series high temperature and B series normal temperature) A: 500℃ B: 24℃ * Energy range: Monovalent → 350keV, Divalent → 700keV Compatible with double/triple chargeOEM 모델 설명
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