설명
설명 없음환경 설정
Accelaration voltage: 50 kV Field size: 1600 μm x800 μm Beam current: 3.5 μA Beam size: 4 μm x4 μm variable shaped beam Scanning speed: 8 MHz Stitching accuracy: 45 nm Overlay accuracy: 45 nm Substrate size: 3 inchOEM 모델 설명
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ADVANTEST
F5112
카테고리
Lithography
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
134374
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
설명
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Accelaration voltage: 50 kV Field size: 1600 μm x800 μm Beam current: 3.5 μA Beam size: 4 μm x4 μm variable shaped beam Scanning speed: 8 MHz Stitching accuracy: 45 nm Overlay accuracy: 45 nm Substrate size: 3 inchOEM 모델 설명
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