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FX-71S

카테고리
Lithography
개요

Resolution (L/S) (switchable): ≦ 3.5 µm (g+h+i-line), 3 µm (i-line) (option) Projection magnification: 1:1 Overlay: ≦ 0.6 µm Maximum plate size: 1,950 × 2,250 mm Takt time: 74 sec./plate Conditions: 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2

활성 등재물

0

서비스

검사, 보험, 감정, 물류

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