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FX-803M

카테고리
Lithography
개요

FPD Steppers Resolution (L/S): 3.0 μm Exposure field: 132 mm square Exposure wavelength: g+h-line Projection magnification: 1:1.25 Overlay: ≦ ±0.38 μm (3σ) Maximum plate size: 730 × 920 mm Reticle size: 6-in (0.25-in. thickness) Takt time: (30 shots) 65 seconds (40 mJ/cm2)

활성 등재물

0

서비스

검사, 보험, 감정, 물류

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