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SAMCO PD-3800LT
    설명
    설명 없음
    환경 설정
    Form : Load lock Type (Large tray transfer) Substrate Size : 3 ""6"" Wafer (trays : φ 360 Al ) Configuration : Reaction chamber (SUS304 φ 495) Transfer chamber (SUS304 800 x 780) Electrodes : φ 420 mm (aluminum) / Top & Bottom Heating : Stage Heating 300°C Power supply : RF 500 W 13.56MHz Process Gas : 6 systems (SiH4, N2O, CF4, CoF2…) Transfer Robot : Articulated Arm Vacuum Robots (JEL) Vacuum Pump : Dry Pump HR60 (ULVAC) Control system : sequencer Operating inputs : touch panel Recipe : Max. 15 recipes or more
    OEM 모델 설명
    미제공
    문서

    문서 없음

    SAMCO

    PD-3800LT

    verified-listing-icon

    검증됨

    카테고리

    PECVD
    마지막 검증일: 60일 이상 전
    주요 품목 세부 정보
    조건:

    Used

    작동 상태:

    알 수 없음

    제품 ID:

    26000

    웨이퍼 사이즈:

    알 수 없음

    빈티지:

    2011

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    Logistics Support
    Available
    Money Back Guarantee
    Available
    Transaction Insured by Moov
    Available
    Refurbishment Services
    Available
    유사 등재물
    모두 보기
    SAMCO PD-3800LT
    SAMCOPD-3800LTPECVD
    빈티지: 2011조건: 중고
    마지막 검증일60일 이상 전

    SAMCO

    PD-3800LT

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    카테고리

    PECVD
    마지막 검증일: 60일 이상 전
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    제품 ID:

    26000

    웨이퍼 사이즈:

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    빈티지:

    2011

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    Form : Load lock Type (Large tray transfer) Substrate Size : 3 ""6"" Wafer (trays : φ 360 Al ) Configuration : Reaction chamber (SUS304 φ 495) Transfer chamber (SUS304 800 x 780) Electrodes : φ 420 mm (aluminum) / Top & Bottom Heating : Stage Heating 300°C Power supply : RF 500 W 13.56MHz Process Gas : 6 systems (SiH4, N2O, CF4, CoF2…) Transfer Robot : Articulated Arm Vacuum Robots (JEL) Vacuum Pump : Dry Pump HR60 (ULVAC) Control system : sequencer Operating inputs : touch panel Recipe : Max. 15 recipes or more
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    SAMCO PD-3800LT
    SAMCO
    PD-3800LT
    PECVD빈티지: 2011조건: 중고마지막 검증일: 60일 이상 전