설명
PVD system환경 설정
(Qty 3) PVD chambers, positions 3/4/5 Degas chamber, position 1 PM5 hot chuck and pyrometer Brooks control system upgrade (2025) with new aligner Brooks Magnatran MAG 7.1 dual-pan robot, up to 860mm extension Brooks control system with CDM (Qty 2) Load-lock elevators Adapter flange for active wafer centering Transport coolerOEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
카테고리
PVD / Sputtering
마지막 검증일: 3일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
155365
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
2007
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
EVATEC / UNAXIS / OERLIKON / BALZERS
CLUSTERLINE 200 II CW
카테고리
PVD / Sputtering
마지막 검증일: 3일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
155365
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
2007
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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PVD system환경 설정
(Qty 3) PVD chambers, positions 3/4/5 Degas chamber, position 1 PM5 hot chuck and pyrometer Brooks control system upgrade (2025) with new aligner Brooks Magnatran MAG 7.1 dual-pan robot, up to 860mm extension Brooks control system with CDM (Qty 2) Load-lock elevators Adapter flange for active wafer centering Transport coolerOEM 모델 설명
미제공문서
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