
설명
RTP환경 설정
1-1. Factory Interface 5.3X ITEM Y(O) / N(X) Yaskawa Dual Arm Robot (XU-RC350D-1B06) O Robot Controller (ERCR-NS01-B004-E1) O Track assembly (XU-ACT101L-G10) O Pre-Aligner O 3 Load Port O Server : Supermicro(QTY.4) O 1-2. Process Chamber(A/B) ITEM Y(O) / N(X) Vulcan ATM, Bottom Heating, Spike Anneal O WRLD Maglev System O IGS Gas Stick MFC Panel O Multi-Zone Lamp Driver O Pyrometers OOEM 모델 설명
미제공문서
카테고리
RTP/RTA
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
96900
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
2012
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
APPLIED MATERIALS (AMAT)
VANTAGE VULCAN
카테고리
RTP/RTA
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
96900
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
2012
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available