FX-801M
카테고리
I-Line개요
FPD Steppers Resolution: ≦ 3 µm (L/S) Projection magnification: 1:1.25 Exposure field: 132 mm square Overlay: ≦ 0.4 µm (3σ) Maximum plate size: 730 × 920 mm Reticle size: 6-in. (0.25-in. thickness) Takt time:89 sec./plate (42 shots) (30 mJ/cm2)
활성 등재물
0
서비스
검사, 보험, 감정, 물류
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