
설명
Purpose: Vapor MEMS Release -Use for silicon sacrificial layer removal (Etching) -Single wafer process in vacuum chamber -Process Temperature can be 5oC to >100oC환경 설정
Chemicals: HF Process type: Single wafer Pumping system: -Ebara AA200WN*2 -Ebara AA40WN*2 (1 for service and 1 for spare) Local Scrubber: Kanken Techno KW300OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
카테고리
Wafer Handling
마지막 검증일: 2일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
New
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
147939
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
2021
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
memsstar
Orbis 3000
카테고리
Wafer Handling
마지막 검증일: 2일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
New
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
147939
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
2021
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Purpose: Vapor MEMS Release -Use for silicon sacrificial layer removal (Etching) -Single wafer process in vacuum chamber -Process Temperature can be 5oC to >100oC환경 설정
Chemicals: HF Process type: Single wafer Pumping system: -Ebara AA200WN*2 -Ebara AA40WN*2 (1 for service and 1 for spare) Local Scrubber: Kanken Techno KW300OEM 모델 설명
미제공문서
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