설명
4DC1, 3LP ALD TOOL환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
Eagle XP8 is a high productivity 300mm tool for PEALD applications. The Eagle XP8 PEALD system can be configured with up to four Dual Chamber Modules (DCM), enabling eight chambers in high volume production within a very compact footprint.문서
문서 없음
ASM
EAGLE XP8
카테고리
ALD
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
115353
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
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Eagle XP8 is a high productivity 300mm tool for PEALD applications. The Eagle XP8 PEALD system can be configured with up to four Dual Chamber Modules (DCM), enabling eight chambers in high volume production within a very compact footprint.문서
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