설명
CMP환경 설정
2 chamberOEM 모델 설명
This 300mm CPM system uses EBARA’s Dry-In/ Dry-Out processing and two-head/ two platen design for maximum operation flexibility. Features include 3-step cleaning, 4 FOUP loading ports, and buff stations.문서
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유사 등재물
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EBARA
F-REX300
카테고리
CMP
마지막 검증일: 21일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
123630
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
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This 300mm CPM system uses EBARA’s Dry-In/ Dry-Out processing and two-head/ two platen design for maximum operation flexibility. Features include 3-step cleaning, 4 FOUP loading ports, and buff stations.문서
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