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The Surfscan 6420 detects submicron defects on metal films and rough surfaces but still provides sensitivity down to 0.1 micron on polished silicon. It is effective for detecting defects on non-uniform films, a critical requirement for CMP applications.문서
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KLA
SURFSCAN 6420
검증됨
카테고리
Defect Inspection
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
84118
웨이퍼 사이즈:
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빈티지:
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Transaction Insured by Moov
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KLA
SURFSCAN 6420
검증됨
카테고리
Defect Inspection
마지막 검증일: 27일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
84118
웨이퍼 사이즈:
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빈티지:
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The Surfscan 6420 detects submicron defects on metal films and rough surfaces but still provides sensitivity down to 0.1 micron on polished silicon. It is effective for detecting defects on non-uniform films, a critical requirement for CMP applications.문서
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