설명
Al PVD환경 설정
TMP(turbo Pump) MFC(flow control) RF ESC/HEATER Chamber 1 LAM Chamber/Q300 Ti/TiN Chamber 2 LAM Chamber/HCM Ti Chamber 3 LAM Chamber/Q300 Al Chamber 5 LAM Chamber/Q300 Al Chamber 6 LAM Chamber/HCM Ti Chamber 7 LAM Chamber/Q300 Ti/TiNOEM 모델 설명
The INOVA xT is a 300mm version of INOVA with proven HCM extendability to the 0.10-micron technology node. It has an industry-leading throughput of 100 wafers per hour (wph).문서
문서 없음
LAM RESEARCH / NOVELLUS
INOVA xT
검증됨
카테고리
Deposition
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
95975
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
알 수 없음
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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INOVA xT
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Deposition
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
95975
웨이퍼 사이즈:
12"/300mm
빈티지:
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TMP(turbo Pump) MFC(flow control) RF ESC/HEATER Chamber 1 LAM Chamber/Q300 Ti/TiN Chamber 2 LAM Chamber/HCM Ti Chamber 3 LAM Chamber/Q300 Al Chamber 5 LAM Chamber/Q300 Al Chamber 6 LAM Chamber/HCM Ti Chamber 7 LAM Chamber/Q300 Ti/TiNOEM 모델 설명
The INOVA xT is a 300mm version of INOVA with proven HCM extendability to the 0.10-micron technology node. It has an industry-leading throughput of 100 wafers per hour (wph).문서
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