설명
Size Configuration: 6”, 150mm Direct-Cooled Chamber 3/8” Pressure w/ATM Sensor & 3/8” Gas Manifolds MKS 627A Heated Baratron Dacscan P/N: 80-095-278, ISS 8 or Higher Software Ver. 4.02g 20 Recipe P/N: 26-041-038, Rev. C or higher RF Generator: ENI ACG-10 (Re-Calibrated)- 4- Unit 8100 MFC’s- 1- Unit 8130 Pressure Controller- 1- Integrated Flat panel환경 설정
Gases in use: SF6, FR23, FR116, He, O2OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
TEGAL
903
검증됨
카테고리
Dry / Plasma Etch
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
58088
웨이퍼 사이즈:
6"/150mm
빈티지:
알 수 없음
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Size Configuration: 6”, 150mm Direct-Cooled Chamber 3/8” Pressure w/ATM Sensor & 3/8” Gas Manifolds MKS 627A Heated Baratron Dacscan P/N: 80-095-278, ISS 8 or Higher Software Ver. 4.02g 20 Recipe P/N: 26-041-038, Rev. C or higher RF Generator: ENI ACG-10 (Re-Calibrated)- 4- Unit 8100 MFC’s- 1- Unit 8130 Pressure Controller- 1- Integrated Flat panel환경 설정
Gases in use: SF6, FR23, FR116, He, O2OEM 모델 설명
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