설명
AlCu & Ti sputter deposition cluster tool환경 설정
Platform: Brooks MX800 Process capability: AlCu / Ti (HIS-Modul) / degas / soft etch Peripherals: (Qty 2) Edwards L70 (Qty 2) Brooks CTI 9600 Upgraded from 6” to 8” in 2008 HIS-Module upgrade in 2021, incl. Artic chiller (-20 °C) I/O boards upgraded in 2021 Software upgraded in 2021 Turbo pumps replaced on loadlocks in 2021 Documentation available (incl. upgrade features)OEM 모델 설명
미제공문서
문서 없음
카테고리
PVD / Sputtering
마지막 검증일: 2일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
154591
웨이퍼 사이즈:
8"/200mm
빈티지:
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
유사 등재물
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EVATEC / UNAXIS / OERLIKON / BALZERS
CLUSTERLINE 200
카테고리
PVD / Sputtering
마지막 검증일: 2일 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
154591
웨이퍼 사이즈:
8"/200mm
빈티지:
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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AlCu & Ti sputter deposition cluster tool환경 설정
Platform: Brooks MX800 Process capability: AlCu / Ti (HIS-Modul) / degas / soft etch Peripherals: (Qty 2) Edwards L70 (Qty 2) Brooks CTI 9600 Upgraded from 6” to 8” in 2008 HIS-Module upgrade in 2021, incl. Artic chiller (-20 °C) I/O boards upgraded in 2021 Software upgraded in 2021 Turbo pumps replaced on loadlocks in 2021 Documentation available (incl. upgrade features)OEM 모델 설명
미제공문서
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