설명
Some parts have been taken out.환경 설정
환경 설정 없음OEM 모델 설명
The 3000 RTP system is the advanced generation RTP tool available with dual side heating to minimize pattern induced thermal non-uniformity and to achieve fast ramp rates of up to 250(degrees)C per second. The 3000 RTP system can be configured for both 200 mm and 300 mm wafers and its applications include ultra-shallow junction formation, implant annealing, cobalt silicide formation and oxinitride formation.문서
문서 없음
MATTSON / STEAG / AST
3000
검증됨
카테고리
RTP/RTA
마지막 검증일: 60일 이상 전
주요 품목 세부 정보
조건:
Used
작동 상태:
알 수 없음
제품 ID:
84895
웨이퍼 사이즈:
알 수 없음
빈티지:
알 수 없음
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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3000
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RTP/RTA
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조건:
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The 3000 RTP system is the advanced generation RTP tool available with dual side heating to minimize pattern induced thermal non-uniformity and to achieve fast ramp rates of up to 250(degrees)C per second. The 3000 RTP system can be configured for both 200 mm and 300 mm wafers and its applications include ultra-shallow junction formation, implant annealing, cobalt silicide formation and oxinitride formation.문서
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